提纯制备高纯氯气的方法与流程

发布时间:2020-07-29 16:34:53 打印

   高纯氯气制备方法是以工业氯为原料,经干燥、吸附、冷凝,可制取高纯氯。高纯氯气用作半导体材料的气体刻蚀剂,特别是与三氯化硼混合可用作铝的刻蚀;还可用于MCVD法生产单膜光纤预制件。

   1.以工业液氯为原料制备电子级氯气的方法,由工业液氯气化后经多级物理干燥、吸附脱除二氧化碳、压缩冷凝、精馏脱除氮气、氧气、氢气、一氧化碳、甲烷等低沸点气体制得99.999%以上的电子级高纯氯气。

   2.高纯氯气精馏工艺,将工业液氯输送至汽化器,在1.2MPa下进入第一蒸馏塔,至第一蒸馏塔的液位达到85%;第一蒸馏塔变压至1.0MPa,由第一冷凝器冷凝后进入第一回流罐,第一回流罐中60%的釜液输送至第二蒸馏塔;第一回流罐中的液位30%-40%,第二蒸馏塔升压至1.8MPa;第二冷凝器冷凝后的釜液回流至第二蒸馏塔,再进入第三蒸馏塔,控制第二蒸馏塔的液位为60-75%,至第三蒸馏塔的液位达到85%,对第三蒸馏塔升压至1.5MPa;由第三冷凝器冷凝后进入第三回流罐,至纯度达到99.9999%,第三回流罐的液位达到60%,第三回流罐中液氯纯度为99.9999%,得到高纯氯气。

   3.工业氯的原料的高纯氯气制备方法,首先用硅胶除水,再用酸处理的沸石进行纯化,纯化后的氯中水含量可在3ppm以下,且设备小,成本低。

   山东言赫化工有限公司作为专业的氯气厂家,公司在研发、存储以及供应高纯氯气、液氯、电子级氯气等产品方面有着非常丰富的经验,再加上其氯气产品价格合适、质量上乘,销售范围遍布全国。


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